EUV 曝光 原理
2020年12月4日—EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才 ...,2023年3月10日—簡單來說,當工程師規劃好晶圓上各區域的功能後,會將電路圖刻在石英片上面,...
藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射
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製造晶片時TRUMPF高功率雷射放大器發揮關鍵作用:因為藉助它可生成發光等離子體,從而提供極紫外光(EUV)曝光晶圓。TRUMPF與全球最大的光刻系統製造商ASML以及光學元件製造 ...
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